2022朝陽區(qū)最美科技工作者丨陳寶欽：甘做微電子科學(xué)技術(shù)“播種機(jī)”
從微米到納米、從光學(xué)到電子束、從指導(dǎo)學(xué)生到科普教育，如今已八十歲高齡的陳寶欽，親歷了光刻技術(shù)發(fā)展六十年。
撰文/記者 李慧 編輯/賈朔榮 攝影/張星海
“我們這一代人年輕時既有當(dāng)科學(xué)家工程師的理想，也都樹立過這樣的志向：甘當(dāng)攀登科學(xué)高峰征途上背氧氣瓶的營員，甘為祖國建設(shè)大業(yè)中的鋪路石子和一磚一瓦，甘做國家偉大工程中一顆永不生銹的螺絲釘，弘揚(yáng)甘為人梯、獎掖后學(xué)的育人精神!”對于中國科學(xué)院微電子研究所研究員、教授陳寶欽而言，這是他一生的堅(jiān)持。
從微米到納米、從光學(xué)到電子束、從指導(dǎo)學(xué)生到科普教育，如今已八十歲高齡的陳寶欽，親歷了光刻技術(shù)發(fā)展六十年。
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背一輩子“氧氣瓶”
微電子芯片制造技術(shù)是世界加工技術(shù)的珠穆朗瑪峰，攀登科學(xué)高峰需要“氧氣”，而陳寶欽甘愿做那個背“氧氣瓶”的人。在微光刻尤其是電子束光刻領(lǐng)域，他和我國一批從事微納米加工技術(shù)的科技工作者一道，為能完美實(shí)現(xiàn)更小尺寸而不斷努力。
從手術(shù)刀人工刻出最細(xì)線條0.2毫米，到采用傳統(tǒng)光學(xué)光刻0.5微米；從1K、4K、16K、64K、1M，到超大規(guī)模集成電路；從1微米級傳統(tǒng)光學(xué)光刻，到100納米移相掩模曝光實(shí)驗(yàn)，到現(xiàn)在采用電子束光刻系統(tǒng)直寫10納米，能找到5納米（電子束加工極限）。陳寶欽這一輩子就干一件事：光掩模制造與光刻技術(shù)。
此間，他獲得的獎項(xiàng)上至國家級下至單位級，有上百個，摞起來有一米多高。但在他看來，最有成就感的是“盡管設(shè)備條件落后，但我國微納加工技術(shù)的研發(fā)，始終緊緊咬住國際先進(jìn)水平不松口”。近年來，陳寶欽還作為《半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)》《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》撰稿人和編委，起草并制定了《微電子微光刻技術(shù)術(shù)語》等多項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)。
除了杰出的科研成果，他還是行業(yè)里最著名的科學(xué)家和勞動模范。年輕時，陳寶欽響應(yīng)“青年知識分子向工農(nóng)兵學(xué)習(xí)”的號召，到環(huán)衛(wèi)工人時傳祥處背大糞，到北京市昌平縣南口鎮(zhèn)高崖口溜石港大隊(duì)與山區(qū)農(nóng)民同吃同住同勞動，到東北遼寧省海城某部隊(duì)農(nóng)場勞動鍛煉。最臟、最苦、最累、最危險的活他都干過，所有的磨礪都成為了他人生的寶貴財(cái)富。他常說，“這一輩子最有意思、最有意義的，是從事半導(dǎo)體、微電子、微光刻、電子束光刻、微納米加工技術(shù)科研及培養(yǎng)研究生和青少年科普工作。”老師培養(yǎng)學(xué)生，就是在為學(xué)生做“嫁衣”，而他也成功做到桃李遍布微電子領(lǐng)域。
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為祖國健康工作50年
陳寶欽年輕時承諾：“要健康地為祖國工作五十年！”他做到了，同樣付出了代價。
▲1965年的時傳祥（左二），左三為青年陳寶欽（攝影/喻惠茹）
1963年，他跟隨勞動模范時傳祥一起背大糞，每周末從北京大學(xué)步行三小時至龍?zhí)逗?。在一個寒冷的冬日，他把大糞桶搖上糞車時失手，百八十斤的糞水就這樣從他的頭上澆下來。不止于此，他還意外被糞車鐵搖棒打斷了兩顆門牙。
1965年，他參加“四清”工作隊(duì)，吃了兩年樹葉，體重只剩下96斤。
1970年，他負(fù)責(zé)電子束蒸發(fā)工藝，蒸發(fā)臺發(fā)生X射線泄漏，檢測儀檢測時爆了表。經(jīng)估算，他承受了超過兩輩子允許的倫琴射線積累劑量。果不其然，醫(yī)院檢查結(jié)果顯示其造血功能受到嚴(yán)重?fù)p傷，白血球剩下1100，體溫不到36攝氏度，脈搏不到50，血壓只有60/90，其他血相全部偏低。他憑借自身強(qiáng)大的修復(fù)功能，花了30年，各血項(xiàng)指標(biāo)奇跡般地全部恢復(fù)正常。
陳寶欽說：“無論是掏大糞、吃樹葉、勞動改造，還是當(dāng)科研工作者、當(dāng)教師、干社會工作，任何簡單和平凡的事情只要認(rèn)認(rèn)真真做好，就是對社會有貢獻(xiàn)、有價值的?！?/p>
作為一名老共產(chǎn)黨員，陳寶欽用簡單而平凡的點(diǎn)點(diǎn)滴滴實(shí)踐出自己厚重的人生，無愧于“共產(chǎn)黨員”這個稱號！他常常說：“每個共產(chǎn)黨員都應(yīng)該做到愛黨、愛國、愛民、敬業(yè)、廉潔、奉公，只有這樣我們的黨才能永遠(yuǎn)興旺發(fā)達(dá)，我們的民族才能昂首屹立于世界民族之林。我的一生也是這樣要求自己的?！?/p>
2007年退休后，陳寶欽仍活躍在科研、教學(xué)和科普一線。他先后于2013年獲國家科學(xué)進(jìn)步二等獎；2016年獲中科院教育教學(xué)成果獎特等獎；2019年獲中科院杰出科技成就獎；2020年獲全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會“先進(jìn)工作者”稱號；2021年獲中科院“十三五”科普工作“先進(jìn)個人”稱號；2022年3月獲中科院老科協(xié)“先進(jìn)個人”稱號。
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做科普，樂在其中
桃李不言，下自成蹊。作為教授和博士生導(dǎo)師的陳寶欽，常自嘲“遠(yuǎn)看像撿破爛的，近看原來是中科院的”。他日常穿著幾十塊錢的衣褲，物質(zhì)上無所求，卻將錢無利息、無條件、無限期、無借條借給留所工作的學(xué)生，前后共支持十余名學(xué)生在京落戶買房，以解決后顧之憂。
他還將錢投入熱愛的科普事業(yè)中。每到一處作科普講座，都自費(fèi)捎上一大袋道具：沙子、寶石、魔方、集成電路芯片……即便是高深的微電子，也能被他講解得妙趣橫生?？破請鏊鶑钠笫聵I(yè)單位到社區(qū)、學(xué)校，從北京延伸到全國各地；科普對象從三歲幼兒園孩子到九十歲退休老干部，無不被他吸引住目光。“每次上完課，陳老師自己心里可美了?！标悓殮J的助手說。
“魔方是一種非常好的現(xiàn)代科學(xué)教具?！标悓殮J喜歡研究魔方，并用通俗易懂的語言總結(jié)出一系列技巧公式，以及一整套魔方與科學(xué)的教程，從小培養(yǎng)孩子的探索鉆研精神和挑戰(zhàn)自我的不服輸精神。
曾有一次，成都七中一學(xué)生聆聽完以“微電子技術(shù)及魔方為例談學(xué)習(xí)方法”為題的精彩講座后，留言道：“陳爺爺豐富的人生經(jīng)歷與神奇的魔方知識，使在座的我們受益匪淺，讓人不禁在心中升起一團(tuán)想要接替優(yōu)秀前輩、報效祖國的熱火?！?/p>
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播撒科學(xué)夢想的種子
雖已至耄耋，但陳寶欽的精力和心態(tài)依舊年輕。他的日程表，被《微電子制造工藝與裝備技術(shù)》課程和微電子相關(guān)科普講座填得滿滿當(dāng)當(dāng)。
疫情下，原本的線下授課轉(zhuǎn)為線上，陳寶欽為保證網(wǎng)絡(luò)教學(xué)質(zhì)量，除精心編寫數(shù)千頁P(yáng)PT教材課件外，還專門匯總編輯了五輯《國科大教程微電子工藝和裝備技術(shù)參考資料輯》，共1250萬字，在業(yè)界共享，受到社會好評。
陳寶欽還堅(jiān)持每年在全國各地開展義務(wù)科普講座，他自帶“干糧”、自掏腰包、樂此不疲。2018年41場13615人，2019年67場29676人，2020年10場9080人，2021年53場26005人。近期參與的科普講座中，5月1日北京大學(xué)舉辦的校友親子科普直播講座在線觀眾逾一萬人，5月8日上海大學(xué)舉辦的“中國芯”空中課堂吸引近三萬人觀看……
在中國科學(xué)院第三幼兒園為小朋友作《微電子與太空探索》的科普講座后，一位四歲的小朋友曾拉著他的手親昵地說：“陳爺爺，我是您的鐵粉?！边@位小朋友的母親事后反饋，孩子回家后念念不忘陳爺爺?shù)闹v座，說要聽陳爺爺?shù)脑?，努力學(xué)習(xí)，將來考上囯科大，考微電子學(xué)院的研究生，將來接替陳爺爺研究微電子科學(xué)！陳寶欽知曉后深受觸動。
2017年給山東聊城大學(xué)生作《微電子科學(xué)和技術(shù)的發(fā)展和展望》學(xué)術(shù)講座時，一名本科生會后找到陳寶欽。這位學(xué)生說他原本應(yīng)該能考上清華北大的，后因高考失誤來到了聊城大學(xué)，情緒極度沮喪，甚至萌生輕生念頭。陳寶欽細(xì)心聆聽，并鼓勵他不要?dú)怵H，繼續(xù)努力，是金子總會發(fā)光。2020年，陳寶欽接到一個驚喜的來電，這位學(xué)生考上了國科大微電子學(xué)院！不止于此，還有兩名大學(xué)生聽了陳寶欽的講座后，將中國科學(xué)院大學(xué)微電子學(xué)院的研究生作為考學(xué)方向，最終也都如愿以償。
科學(xué)夢想的種子不經(jīng)意間播撒進(jìn)孩子的心田，一次尋常的講座潛移默化中有可能改變一個學(xué)生的人生。我國微電子領(lǐng)域人才缺口近百萬，陳寶欽希望通過自己的努力，在培養(yǎng)后備人才方面作出更大的貢獻(xiàn)。每每看到孩子們眼里迸射出的亮光，陳寶欽心底油然而生滿滿成就感?！按髮W(xué)生和研究生是中國微電子2030年前的主力軍，幼兒園孩子是中國2050年的主力軍，微電子科普要從娃娃抓起，希望將來在他們中間能成長出微電子科技工匠！”
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